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DMF系列数字质量流量控制器可对不同气体的流量进行编程,记录,分析和控制.控制器采用了直管传感器和限流元件,这保证了层流气体流量的精度与重复性。DMF系列不受温度和压力变化的影响。
控制器可以针对不同的控制器功能进行编程,包括设定流量值,累计,终止累计,从预定值累计,终止和预定总数,自动调零等等.自动调零特性采用了自动调零调整电路,这实际上消除了零漂和量程漂移,此外,DMF系列控制器带有两个干式触点对泵,阀门和其它设备进行控制。
DMF系列的特点是有一自整定功能,它可以使对一定压力小的特定气体的调节达到最优,在开机时就进行自诊断测试,从而保证控制器工作在最优工况下。控制器中储存了多达10种的气体校准信息和256种不同气体的转换因数,气体流量高低速限制警报器经由RS-485接口进行编程.流量模式有相应软件的支持,它允许执行多达十条指令的自定义程序。
规格
介质:与接液部件兼容的清洁气体
接液材质:316不锈钢,416不锈钢,VitonO型密封圈
精度:满量程时±1%包括线性以上59-77°F(5-25°C)和5-60psia(0.35-4bar);
满量程时±2%32-122°F(0-50°C)和5-150psia(0.3-10bar)
重复性:满量程的±0.15%
反应时间:在20%-100%满量程以上设定点的±2%以内是0.6-1.0秒
输出:线性0-5VDC(2000Ω小负载阻抗);0-10VDC(4000Ω小负载阻抗)
最大微粒尺寸:100微米
工作温度:41-122°F(5-50°C)
电源:±15VDC;最大功率13.5瓦
过程连接:流速≤50L/m压缩接头是1/4英寸;100和200L/m是3/8英寸
压力范围:500psig(34.5bar)
泄漏率:氦气的1x10-7 sccs
计算机连接: RS-485
认证: CE
型号
流量范围型号
0-10SCCMDMF-41401
0-20SCCMDMF-41402
0-50SCCMDMF-41403
0-100SCCMDMF-41404
0-200SCCMDMF-41405
0-500SCCMDMF-41406
0-1L/minDMF-41407
0-2L/minDMF-41408
0-5L/minDMF-41409
0-15L/minDMF-41411
0-30L/minDMF-41431
0-50L/minDMF-41433
0-100L/minDMF-41842
流量量程是由当氮气在70°F(21°C)@760mmHg的条件下标定的